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        技術(shù)文章/ ARTICLE
        
      
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           功率放大器在UV-CMP拋光機(jī)中的應(yīng)用
            
          20261-20
          
          
          
          
          
            
            
          UV-CMP拋光機(jī)有兩種工作模式：連接超聲振動(dòng)信號(hào)和關(guān)閉超聲振動(dòng)信號(hào)接入。UV-CMP拋光機(jī)的設(shè)備工作步驟如下：第一，超聲信號(hào)發(fā)生器生成一定頻率和波形的電信號(hào)；第二，超聲電信號(hào)傳輸給功率放大器，使電信號(hào)達(dá)到超聲轉(zhuǎn)換裝置工作的電壓和功率；第三，放大的電信號(hào)傳輸給超聲轉(zhuǎn)換裝置，使得超聲電信號(hào)轉(zhuǎn)換成同頻率的機(jī)械振動(dòng)。經(jīng)過上面的三個(gè)步驟，CMP拋光機(jī)升級(jí)為UV-CMP，傳統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械拋光也升級(jí)為超聲振動(dòng)輔...
          
            
          
          
        
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