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        技術文章/ ARTICLE

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        Aigtek高壓放大器在靜電懸浮裝置研究中的應用

        更新時間:2025-04-18      瀏覽次數(shù):271

          實驗名稱:靜電懸浮裝置控制算法與懸浮實驗

          研究方向:為了實現(xiàn)材料樣品的懸浮控制和加熱測溫,靜電懸浮實驗裝置配置了光電傳感器、測溫儀、激光器、CCD相機、電機等復雜的光機電外圍設備。并且在實驗過程中還要配置多種工程參數(shù),實時采集分析各種科學數(shù)據(jù),所以采用綜合監(jiān)控軟件集成對流程控制、參數(shù)配置、數(shù)據(jù)存儲和查看等功能,方便用戶操作實驗裝置。

          測試設備:高壓放大器、光電傳感器、測溫儀、探測器等。


        靜電懸浮位置控制模型


        圖1:靜電懸浮位置控制模型

          實驗過程:

          樣品懸浮位置的穩(wěn)定控制是靜電懸浮的關鍵技術,懸浮控制過程包括樣品充電、脫離極板和穩(wěn)定懸浮。懸浮控制的難點在于直徑2mm樣品要在間距8mm的極板之間完成懸浮過程,穩(wěn)定懸浮后樣品距離上下極板只有3mm的間距,對位置測量精度要求高。如果不加控制,樣品在10ms的時間就從下極板撞到上極板,因此懸浮控制的周期要很短。另外,樣品初始懸浮時受下極板鏡像引力的作用,當脫離下極板后會急速上升,增加了控制算法的難度。懸浮控制系統(tǒng)的模型如圖1所示。

          懸浮樣品的位置是被控對象,通過PSD傳感器檢測樣品的當前位置作為反饋信號輸入,高壓放大器是控制系統(tǒng)的輸出,高壓放大器作用于上下電極,改變極板間的電場強度,進而調節(jié)樣品的懸浮位置??刂破鞲鶕?jù)反饋的當前時刻的位置信號,通過PID運算,得到下一時刻的輸出信號,形成負反饋的位置控制。

          實驗結果:


        樣品穩(wěn)定懸浮圖像


        圖2:樣品穩(wěn)定懸浮圖像

          樣品放置于下極板中心位置,系統(tǒng)開始加電后,隨著極板電壓的增大,樣品開始產(chǎn)生微小的顫動,當極板間的電壓繼續(xù)增大,樣品所受庫侖力克服鏡像力的作用,加速向上運動,隨著控制算法調整極板間的電壓使樣品豎直方向的位置穩(wěn)定后,開啟水平方向的控制,抑制樣品在水平方向的振蕩,樣品最終穩(wěn)定懸浮在上下極板之間,如圖2所示。


        懸浮過程的位置和電壓變化曲線


        圖3:懸浮過程的位置和電壓變化曲線

          懸浮過程的位置和電壓曲線如圖3所示。通過積分分離的方法,減少樣品懸浮初始過程的超調,并且在樣品穩(wěn)定后,改變控制參數(shù),減弱樣品的振蕩。

          高壓放大器推薦:ATA-7025



        圖:ATA-7025高壓放大器指標參數(shù)

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