超聲波功率放大器原理，安泰超聲功率放大器在MEMS測試中的應(yīng)用

功率放大器的特點：

（1）信號發(fā)生器輸入的信號最大是20Vpp，通過功率放大器可以提升電壓和功率；

（2）是具有可增益調(diào)節(jié)的放大器，實質(zhì)是一個電壓電流放大器；

（3）不容易引入現(xiàn)場干擾信號，電路受連接電纜長度變化的影響不大，幾乎可忽略不計，可用于壓電式傳感器遠距離傳輸放大；

（4）數(shù)控增益系統(tǒng)可以快速調(diào)節(jié)需要的輸出電壓，兼容市面所有主流的任意波形函數(shù)信號發(fā)生器，實現(xiàn)信號放大；

（5）頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠和重量輕。

【安泰電子】功率放大器與超聲波發(fā)生器：

功率放大器是用來放大超聲波發(fā)生器產(chǎn)生的信號，超聲波發(fā)生器來產(chǎn)生一個特定頻率的信號，這個信號可以是正弦信號，也可以是脈沖信號，這個特定頻率是換能器工作的頻率。

超聲波發(fā)生器的輸出功率調(diào)節(jié)：

當(dāng)超聲波發(fā)生器接入電壓的發(fā)生變化時，發(fā)生器的輸出功率也隨著發(fā)生變化。會使超聲波換能器的機械振動不穩(wěn)定，導(dǎo)致工作效果不佳。因此需要穩(wěn)定輸出功率，通過調(diào)節(jié)放大倍數(shù)，具體分為粗調(diào)（1step）和細調(diào)（0.1step）兩種，通過功率反饋信號相應(yīng)調(diào)整功率放大器，使得功率放大穩(wěn)定。

隨著MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)的發(fā)展，目前已經(jīng)廣泛涉及醫(yī)學(xué)、生物、航天航空等各個領(lǐng)域，由于各個應(yīng)用領(lǐng)域的工作環(huán)境不同，所以對其進行機械動態(tài)特性的測試和研究不僅僅局限于常態(tài)環(huán)境中。研究MEMS產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性必須考慮不同應(yīng)用領(lǐng)域的環(huán)境因素，如高溫環(huán)境、低溫環(huán)境、高加速度環(huán)境、真空環(huán)境、高腐蝕性環(huán)境中的一種或者多種，這是MEMS器件設(shè)計、制作和封裝等技術(shù)的關(guān)鍵，滿足器件向智能化和集成化發(fā)展方向的需求。

微機電系統(tǒng)示意圖

對于大多數(shù)MEMS傳感器和執(zhí)行器來說，能夠使其正常使用和發(fā)揮其功能性，主要是通過內(nèi)部可動微結(jié)構(gòu)在允許的范圍內(nèi)進行一定變形和位移來實現(xiàn)的，因而對MEMS微結(jié)構(gòu)進行模態(tài)測試就必須使其處于振動的狀態(tài)，也就是對其進行激勵。理想的MEMS微結(jié)構(gòu)激勵方法應(yīng)該具有三個特點：一是非接觸性；二是非破壞性；三是較大的激振帶寬。MEMS模態(tài)測試的激勵方法主要包括有靜電激勵、磁激勵、熱激勵、壓電激勵、聲激勵和基于壓電陶瓷的底座激勵。在這些激勵方法中，選擇合適的激勵裝置尤為重要，Aigtek超聲功率放大器最大輸出電壓10KV,最大輸出功率10KW，最大輸出電流64Ap，帶寬（-3dB）高達DC~25MHz，電壓增益數(shù)控可調(diào)。滿足不同壓激勵指標(biāo)的需求。它還被廣泛應(yīng)用在細胞微粒分選，電場粒子偏轉(zhuǎn)，無線電能傳輸?shù)妊芯款I(lǐng)域。