超聲波功率放大器原理，安泰超聲功率放大器在MEMS測試中的應用

功率放大器的特點：

（1）信號發生器輸入的信號最大是20Vpp，通過功率放大器可以提升電壓和功率；

（2）是具有可增益調節的放大器，實質是一個電壓電流放大器；

（3）不容易引入現場干擾信號，電路受連接電纜長度變化的影響不大，幾乎可忽略不計，可用于壓電式傳感器遠距離傳輸放大；

（4）數控增益系統可以快速調節需要的輸出電壓，兼容市面所有主流的任意波形函數信號發生器，實現信號放大；

（5）頻帶寬、靈敏度高、信噪比高、結構簡單、工作可靠和重量輕。

【安泰電子】功率放大器與超聲波發生器：

功率放大器是用來放大超聲波發生器產生的信號，超聲波發生器來產生一個特定頻率的信號，這個信號可以是正弦信號，也可以是脈沖信號，這個特定頻率是換能器工作的頻率。

超聲波發生器的輸出功率調節：

當超聲波發生器接入電壓的發生變化時，發生器的輸出功率也隨著發生變化。會使超聲波換能器的機械振動不穩定，導致工作效果不佳。因此需要穩定輸出功率，通過調節放大倍數，具體分為粗調（1step）和細調（0.1step）兩種，通過功率反饋信號相應調整功率放大器，使得功率放大穩定。

隨著MEMS（微機電系統）技術的發展，目前已經廣泛涉及醫學、生物、航天航空等各個領域，由于各個應用領域的工作環境不同，所以對其進行機械動態特性的測試和研究不僅僅局限于常態環境中。研究MEMS產品的穩定性和可靠性必須考慮不同應用領域的環境因素，如高溫環境、低溫環境、高加速度環境、真空環境、高腐蝕性環境中的一種或者多種，這是MEMS器件設計、制作和封裝等技術的關鍵，滿足器件向智能化和集成化發展方向的需求。

微機電系統示意圖

對于大多數MEMS傳感器和執行器來說，能夠使其正常使用和發揮其功能性，主要是通過內部可動微結構在允許的范圍內進行一定變形和位移來實現的，因而對MEMS微結構進行模態測試就必須使其處于振動的狀態，也就是對其進行激勵。理想的MEMS微結構激勵方法應該具有三個特點：一是非接觸性；二是非破壞性；三是較大的激振帶寬。MEMS模態測試的激勵方法主要包括有靜電激勵、磁激勵、熱激勵、壓電激勵、聲激勵和基于壓電陶瓷的底座激勵。在這些激勵方法中，選擇合適的激勵裝置尤為重要，Aigtek超聲功率放大器最大輸出電壓10KV,最大輸出功率10KW，最大輸出電流64Ap，帶寬（-3dB）高達DC~25MHz，電壓增益數控可調。滿足不同壓激勵指標的需求。它還被廣泛應用在細胞微粒分選，電場粒子偏轉，無線電能傳輸等研究領域。